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半自動調針機

半自動調針機具備精密量測功能，可正確快速判別Probe Card的異常狀況，像是針徑、針偏、針水平等，減少維修檢測人員在尋找異狀的間，同時可自動定位回報異常針位，供檢測人員快速了解異常狀況並調正，提高維修效率。 另一方面，可進行IQC進料檢驗，針對委外的Probe Card做品質管控檢測，有效提升生產效率 。

調針檢測系統    

--優於業界的量測性

• 機台光學尺解析度0.1um，且重複精度一致性高，具業界最佳量測重複性。

• 可檢出針徑 > 8um 、針偏 > 3um 。

--高效率異常偵查

• 具防撞機制，可在調針過程中避免人員疏忽產生撞卡風險。

• 智能調針操作，業界最快輔助調針速度，速度優於PRVX，也較傳統式調針

  省50%以上的時間。

• 自動軟體校正補償，可快速校正機台座標以達到更精確的量測。

--彈性易用的使用設定

• 配合人體工學設計機台，調針人員可長期調針不勞累。

• 可依需求製作治具供彈性固定位置 (6.85～17吋)。

調針檢測系統－導入效益－時間

1. 由原先人工比對Mylar針位調針改由自動檢測比對針位後輔助調針。

2. 使用Mylar有遮住調針困擾，需重複進行移Mylar調針檢查至Pass→

     改變無Mylar作業， 一次調針到定位效率大幅提昇。

3. 人工檢查下一Fail pin進行調針→改由自動移至Fail pin進行調針。

機台防撞機制-最新AI設計

1.使用智能流程，學習記憶卡的高度位置，設定極限並儲存在腳本中。

2.治具經設計規劃，可依不同種類probe card客製設計，都可克服干擾進行測試   調針(如probe card新增散熱模組，新增被動元件及線路在板邊)。

機台規格-硬體功能

n 機台重複精度± 1 um；機台線性精度 (2+L/200) um 。

n 顯微鏡工作距離 (人體工學要求)：

     ￭ 1. 物鏡至量測物工作距離: 90mm

     ￭ 2. 桌子底部至顯微鏡目鏡距離: 56cm (目鏡仰角不能低於水平)

n 機台量測針尖完成後，可將超出規格 fail pin 自動移至顯微鏡下，顯示偏移狀況，

進行手動調整針位；調完可同時確認針位。

n 機台尺寸 800*920mm，可移動行程: 400*300mm，卡片被動元件高度<50mm，量測針位範圍 140mm x140 mm (可依尺寸需求更新)

n CCD (二百萬畫素, 20FPS)，CCD 解析度: 0.44 um/pixel，(可依針徑調整) 。

n Leica 顯微鏡：1. 目鏡25倍 (仰角可調整配合輔助調針者身高)，

           2. 物鏡 0.8x-6X 。

調針檢測系統取像－影像品質佳

Probe Card針頭取像樣本

機台規格-軟體功能

     n 量測檢查針徑>8um、針偏>3um 、針水平>10um 可檢出。

      n 載入XY座標檔 (EXCEL)，目前可4點及多點式自動準確對位。

      n 對位完成後，全自動量測針尖 (X,Y) 座標/面積/真圓度/缺角/水平等資訊並      可儲存。

      n 自動移至 fail pin 位置，調整後按下空白鍵後自動跳至下一個 fail pin。

      n 所有 fail pin 調完後，可選擇單一測試或全測功能。

      n 可記錄不同 probe card 之設定資訊，探針 alignment 結果、針尖直徑量 測結果，匯出表格。